Toward a better understanding of the nanoscale degradation mechanisms of ultra-thin Si0 2 /Si films: Investigation of the best experimental conditions with a conductive-atomic force microscope
R. Arinero
(1, 2)
,
W. Hourani
(3)
,
Antoine Touboul
(1, 4)
,
B. Gautier
(3)
,
M. Ramonda
(5, 1)
,
D. Albertini
(6)
,
L. Militaru
(7)
,
Y. Gonzalez-Velo
(8)
,
C. Guasch
(1, 4)
,
Frédéric Saigné
(1, 4)
1
IES -
Institut d’Electronique et des Systèmes
2 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
3 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
4 RADIAC - Radiations et composants
5 LMCP - Laboratoire de Microscopie en Champ Proche
6 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
7 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
8 ASU - Arizona State University [Tempe]
2 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
3 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
4 RADIAC - Radiations et composants
5 LMCP - Laboratoire de Microscopie en Champ Proche
6 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
7 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
8 ASU - Arizona State University [Tempe]
R. Arinero
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19300
- IdHAL : richard-arinero
- ORCID : 0000-0002-2578-2606
- IdRef : 079363083
Antoine Touboul
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20946
- IdHAL : antoinetouboul
- ORCID : 0000-0002-2714-849X
- IdRef : 074257323
C. Guasch
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21829
- IdHAL : cathy-guasch
- ORCID : 0000-0003-3202-4165
Frédéric Saigné
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19534
- IdHAL : frederic-saigne
- IdRef : 110480821